Обработка монокристаллов в микроэлектронике /
Карбань, Валерий Иванович
Обработка монокристаллов в микроэлектронике / В.И. Карбань, Ю.И. Борзаков. - Москва : Радио и связь, 1988. - 103 с. : ил. - Массовая библиотека инженера "Электроника" .
Библиогр.: с. 96-102
Микроэлектроника - Обработка монокристаллов Монокристаллы в микроэлектронике
Обработка монокристаллов в микроэлектронике / В.И. Карбань, Ю.И. Борзаков. - Москва : Радио и связь, 1988. - 103 с. : ил. - Массовая библиотека инженера "Электроника" .
Библиогр.: с. 96-102
Микроэлектроника - Обработка монокристаллов Монокристаллы в микроэлектронике