Легирование полупроводников методом ядерных реакций /
Легирование полупроводников методом ядерных реакций /
Л.С. Смирнов, С.П. Соловьев, В.Ф. Стась, В.А. Харченко ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников.
- Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние, 1981.
- 181 с. : ил. ; 21 см.
Полупроводники--Легирование ядерное
Полупроводники--Легирование ядерное