Физические основы микроэлектроники : Сборник научных трудов /
Физические основы микроэлектроники : Сборник научных трудов /
М-во выс. и сред. спец. обр. СССР. Моск. ин-т электрон. техники ; Ред. Т.Д. Шермергор.
- Москва : Изд-во Московского ин-та электрон. техники, 1980.
- 126 с.
Микроэлектроника
Микроэлектроника