Фундаментальные вопросы ионной имплантации : (Материалы 3-й всесоюзной школы 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата ) /
Фундаментальные вопросы ионной имплантации : (Материалы 3-й всесоюзной школы 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата ) /
АН КазССР. Ин-т физики высоких энергий ; Отв. ред. Н.А. Добротин.
- Алма-Ата : Наука. КазССР, 1987.
- 235 с.
1.90
Ионная имплантация
1.90
Ионная имплантация