TY  - BOOK
AU  - Масленников,Павел Николаевич
TI  - Оборудование полупроводникового производства
PY  - 1981///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Оборудование полупроводникового производства
N1  - Библиогр. с. 330 - 333 (91 назв.)
ER  -