Тилл, Уильям <br/><br/>
Интегральные схемы :  Материалы. Приборы. Изготовление / 
У. Тилл, Дж. Лаксон ; Пер. с англ. М.Б. Левина, В.Г. Микуцкого. 
 - Москва :  Мир,  1985. 
 - 501 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце глав. 
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Интегральные схемы