TY  - BOOK
AU  - Тилл,Уильям
AU  - Лаксон,Джеймс
AU  - Левин,М.Б.
AU  - Микуцкий,В.Г.
TI  - Интегральные схемы: Материалы. Приборы. Изготовление 
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Интегральные схемы
N1  - Библиогр. в конце глав; Оригинал на англ; Integrated Circuits; Materials, Devices and Fabrication; William C. Till, James T. Luxon -; New Jersey : Prentice-Hall : 1982
ER  -