TY  - BOOK
AU  - Сазонов,Александр Афанасьевич
TI  - Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов 
SN  - 5060007316
PY  - 1991///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Автоматическое управление и регулирование
N1  - ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1991; այլ; Библиогр.: с. 332 (12 назв.)
ER  -