TY  - BOOK
AU  - Шнаревич,Елена Ивановна
AU  - Рыбинский,Олег Александрович
AU  - Злобин,Владимир Алексеевич
TI  - Диэлектрики интегральных схем
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Диэлектрики
KW  - Полупроводниковая электроника
N1  - Список лит. с. 111-118
ER  -