Атомная диффузия в полупроводниках / 
Под ред. Д. Шоу ; Пер. с англ. С.Н. Горина и О.В. Матвеева. 
 - Москва :  Мир,  1975. 
 - 684 с. :  ил. ;  22 см. 
<br/><br/>Списки лит. в конце гл. 
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники--Диффузия