TY  - BOOK
AU  - Горин,С.Н.
AU  - Матвеев,О.В.
AU  - Шоу,Дени М.
TI  - Атомная диффузия в полупроводниках
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Полупроводники
KW  - Диффузия
N1  - Списки лит. в конце гл; Оригинал на англ.; Atomic Diffusion in Semiconductors; D. Shaw-; London : Plenum Press : 1973
ER  -