TY  - BOOK
AU  - Дубовой,Николай Дмитриевич
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Измерение и контроль при производстве интегральных схем: Сборник научных трудов 
PY  - 1984///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Технический контроль автоматический - Сборники
KW  - Технический контроль автоматический - Микроэлектронные схемы интегральные
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -