Мейер, Дж. Ионное легирование полупроводников : (Кремний и германий) : Пер. с англ. / Ion Implantation in Semiconductors Дж. Мейер, Л. Эриксон, Дж. Дэвис ; Пер. под ред. В.М. Гусева. - Москва : Мир, 1973. - 296 с. Библ. 335 назв. Subjects--Topical Terms: Машиностроение