Системы металлизации к кремниевым полупроводниковым приборам и интегральным схемам :  Отечественная и иностранная литература за 1969-1973 гг. 350 названий / 
Сост.: Л.Ф. Ижмякова, В.В. Шеглова; Ред. В.В. Шеглова; Мин. электр. промышл. СССР. 
 - М. :  Б. и.,  1974. 
 - 93 с. ;  21 см. 
 - Тематические указатели литературы  Полупроводниковые приборы  Вып. 2(112) .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Отраслевая и тематическая библиография