Нитрид кремния в электронике / 
В.И. Белый и др. ; Отв. ред. А.В. Ржанов ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии  
 - Новосибирск :  Наука. Сиб. отд-ние,  1982. 
 - 200 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: c. 186-198 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Кремний, нитрид