TY  - BOOK
AU  - Осипов,Кирилл Афанасьевич
AU  - Фолманис,Гундар Эдуардович
ED  - Институт металлургии Академии Наук СССР
TI  - Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Наука
KW  - Пленки тонкие - Получение
N1  - Библиогр. 116 назв
ER  -