Данилин, Борис Степанович Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. - Москва : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. Subjects--Topical Terms: Плазма