TY  - BOOK
AU  - Данилин,Борис Степанович
AU  - Киреев,Владимир Юрьевич
TI  - Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
PY  - 1987///
CY  - Москва
PB  - Энергоатомиздат
KW  - Плазма
ER  -