Минаков, Валерий Иванович <br/><br/>
Производство тонкопленочных микросхем :  Учебное пособие / 
В.И. Минаков, М.З. Коган. 
 - Ленинград :  Энергия. Ленингр. отд-ние,  1973. 
 - 176 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Тонкопленочные микросхемы