TY  - BOOK
AU  - Минаков,Валерий Иванович
AU  - Коган,Михаил Залманович
TI  - Производство тонкопленочных микросхем: Учебное пособие 
PY  - 1973///
CY  - Ленинград
PB  - Энергия. Ленингр. отд-ние
KW  - Тонкопленочные микросхемы
ER  -