Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок / 
АН СССР. СО. Ин-т неорганической химии; Отв. ред. Ф.А. Кузнецов. 
 - Новосибирск :  Наука. Сиб. отд-ние,  1981. 
 - 277 с. :  ил. ;  22 см. 
<br/><br/> В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники - Кристаллы - Рост<br/>Полупроводниковые пленки - Получение