Готра, Зенон Юрьевич <br/><br/>
Технология микроэлектронных устройств :  Справочник / 
З.Ю. Готра. 
 - Москва :  Радио и связь,  1991. 
 - 527,[1] с.  ил. ;  23 см. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 526 (22 назв.) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5256006991 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронная аппаратура - Производство - Справочники