Курносов, Анатолий Иванович <br/><br/>
Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем :  Учебное пособие для вузов / 
А.И. Курносов, В.В. Юдин. 
 - 2-е изд., перераб. и доп. 
 - Москва :  Высшая школа,  1979. 
 - 367 с. :  ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковое производство