TY  - BOOK
AU  - Курносов,Анатолий Иванович
AU  - Юдин,Владимир Васильевич
TI  - Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учебное пособие для вузов 
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковое производство
ER  -