TY - BOOK AU - Шермергор,Т.Д. ED - Московский ин-т электронной техники TI - Физические основы микроэлектроники: Сборник научных трудов PY - 1980/// CY - Москва PB - Изд-во Московского ин-та электрон. техники KW - Микроэлектроника ER -