TY  - BOOK
AU  - Валиев,Камиль Ахметович
AU  - Раков,Александр Васильевич
TI  - Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
PY  - 1984///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Машиностроение
N1  - Библ. 224 назв
ER  -