Фундаментальные вопросы ионной имплантации : (Материалы 3-й всесоюзной школы 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата ) / АН КазССР. Ин-т физики высоких энергий ; Отв. ред. Н.А. Добротин. - Алма-Ата : Наука. КазССР, 1987. - 235 с.

1.90


Ионная имплантация