000 00939nam a2200229 a 4500
001 000061176
003 AM-YEHGA
005 20240826195823.0
008 990107s1975 ru |||||||||||||||||rus d
040 _aAM-YEHGA
_cAM-YeHGA
041 1 _arus
_heng
245 0 0 _aАтомная диффузия в полупроводниках /
_cПод ред. Д. Шоу ; Пер. с англ. С.Н. Горина и О.В. Матвеева.
260 _aМосква :
_bМир,
_c1975.
300 _a684 с. :
_bил. ;
_c22 см.
504 _aСписки лит. в конце гл.
534 _pОригинал на англ. :
_tAtomic Diffusion in Semiconductors /
_aD. Shaw-
_cLondon : Plenum Press : 1973
650 1 4 _aПолупроводники
_xДиффузия
700 1 _aГорин, С.Н.
_eпер.
_4trl
700 1 _aМатвеев, О.В.
_eпер.
_4trl
700 1 _aШоу, Дени М.
_eред.
_4edt
942 _2udc
_cBK
999 _c18032
_d18032