| 000 | 01162nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000747078 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20210831171644.0 | ||
| 008 | 100629s1984 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 |
_aAM-YeHGA _cAM-YeHGA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aИзмерение и контроль при производстве интегральных схем : _bСборник научных трудов / _cМоск. ин-т электрон. техники; Редкол.: Н.Д. Дубовой (гл. ред.) и др. |
| 260 |
_aМосква : _bМИЭТ, _c1984. |
||
| 300 |
_a115 с. : _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 653 | 0 | _aМикроэлектронные схемы интегральные - Технический контроль автоматический - Сборники | |
| 653 | 0 | _aТехнический контроль автоматический - Микроэлектронные схемы интегральные | |
| 700 | 1 |
_aДубовой, Николай Дмитриевич _eред. _4edt |
|
| 710 | 2 | _aМосковский институт электронной техники | |
| 999 |
_c277725 _d277725 |
||