| 000 | 00720nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000154465 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20230328123451.0 | ||
| 008 | 981211s1987 ru ||||gr|||||||||0|rus|d | ||
| 040 |
_aAM-YEHGA _cAM-YeHGA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | 0 | _aДанилин, Борис Степанович |
| 245 | 1 | 0 |
_aПрименение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / _cБ.С. Данилин, В.Ю. Киреев. |
| 260 |
_aМосква : _bЭнергоатомиздат, _c1987. |
||
| 300 |
_a264 с. : _bил. |
||
| 650 | 1 | 4 | _aПлазма |
| 700 | 1 | _aКиреев, Владимир Юрьевич | |
| 942 |
_2udc _cBK _n0 |
||
| 999 |
_c53219 _d53219 |
||