| 000 | 00873nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000199861 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20240111112330.0 | ||
| 008 | 030329s1981 ru |||||r|||||||||0|rus|d | ||
| 040 |
_aAM-YEHGA _cAM-YeHGA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aФизика микроэлектронных приборов : _bСборник научных трудов / _cМоск. ин-т электрон. техники ; Редкол.: Т.Д. Шермергор (науч. ред.) и др. |
| 260 |
_aМосква : _bИзд-во Моск. ин-т электрон. техн., _c1981. |
||
| 300 |
_a96 с. ; _c20 см. |
||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника |
| 700 | 1 |
_aШермергор, Тимофей Дмитриевич _eред. _4edt |
|
| 710 | 2 | _aМосковский институт электронной техники | |
| 942 |
_2udc _cBK _n0 |
||
| 999 |
_c70259 _d70259 |
||